Linea HS BSI

Multifieldとは？

Multifield「マルチフィールド」とは、異なる波長の光源と照明条件 (明視野、暗視野、バックライトなど) を使用して、1 回のスキャンで複数の画像をキャプチャできる新しいイメージング技術です。

Linea HS Multifield は特定の波長で撮像することに特化したカメラで、ウェーハレベルでコーティングされたダイクロイックフィルターを使用して、画像をR, G, Bの波長に分離させることができる業界注目のTDIラインスキャンカメラです。

通常のカラーラインスキャン
カメラとの違いは？

通常のカラーラインスキャンカメラとLinea HS Multifieldの違いは、センサの波長感度特性にあります。

通常のカラーラインスキャンカメラは RGBの感度分布の重なりが大きいのに対し、Linea HS Multifieldの感度分布の重なりは非常に小さくRGBの感度がそれぞれ独立していると言えます。
これによりGreenの照明で撮像しているカメラに、Blue照明による信号も混入してしまう、ということがなくなり、特定の波長ごとに精度の高い撮像が可能になります。

導入のメリットは？

照明の波長、照射角度など複数の光学条件の採用により、従来は判定できなかった欠陥の検出精度を向上させることが可能になります。

従来ではカメラの台数を増やして光学条件ごとに撮像をしていたシステムが、Linea HS Multifieldを採用することでカメラ台数とタクトタイムの削減が実現できます。

基盤外観検査等のアプリケーションにおいては、今後の装置の性能アップに欠かせないラインスキャンカメラになると言えます。

アプリケーション事例
・基盤外観検査
・半導体ウェハ外観検査　等